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硅烷废水处理案例|硅烷废水处理方法

某半导集成电路芯片手工加工厂在晶圆手工加工的时候中,食用硅烷采取硅外延性生長,烟气洗條塔行成高密度含硅废渣正确处理最简单的方法。废渣正确处理最简单的方法有pH变化大(2-11)、硅含铁高的优势特点,传统性正确处理最简单的方法易诞生硅垢网络堵塞,网络响应过慢或许卡死事情。 工业废水含量及起源 污废水 主要的含量为: 溶解出来性硅酸盐 :SiO₂溶液浓度达1000-1500mg/L 氢阳极氧化钠/氢阳极氧化钠 :清洗塔耐酸碱清洗液存留 顆粒硅 :nm级SiO₂固体 痕量砷 :原辅料杂物融入 清理的工艺步骤流程 创新技术用于"有级中合+膜滤出+蒸发器晶粒"生产工艺: 一级通过成绩与 :用CaO的调节pH至4-5,转换硅酸钙沉垫,硅祛除率60%。 三级结合 :加Na₂CO₃将pH提高自己至9,进每一步凝固所剩硅,并接用镁剂除砷。 超滤膜程序 :0.02μm瓷质膜过滤程序纳米技术级硅粒子,通量保持稳定在80LMH。 MVR蒸发掉器 :浓缩咖啡高盐生活污水,凝结出Na₂SO₄副好产品,水中水回用率超90%。 最后功能 总硅从1500mg/L降下来5mg/L下面的 砷硫含量从0.8mg/L调至0.01mg/L 软件系统无水垢行驶高出2年 今年环保再生资源回收磷酸钠单晶体约800吨

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