某半导集成电路芯片手工加工厂在晶圆手工加工的时候中,食用硅烷采取硅外延性生長,烟气洗條塔行成高密度含硅废渣正确处理最简单的方法。废渣正确处理最简单的方法有pH变化大(2-11)、硅含铁高的优势特点,传统性正确处理最简单的方法易诞生硅垢网络堵塞,网络响应过慢或许卡死事情。
工业废水含量及起源
污废水 主要的含量为:
溶解出来性硅酸盐
:SiO₂溶液浓度达1000-1500mg/L
氢阳极氧化钠/氢阳极氧化钠
:清洗塔耐酸碱清洗液存留
顆粒硅
:nm级SiO₂固体
痕量砷
:原辅料杂物融入
清理的工艺步骤流程
创新技术用于"有级中合+膜滤出+蒸发器晶粒"生产工艺:
一级通过成绩与
:用CaO的调节pH至4-5,转换硅酸钙沉垫,硅祛除率60%。
三级结合
:加Na₂CO₃将pH提高自己至9,进每一步凝固所剩硅,并接用镁剂除砷。
超滤膜程序
:0.02μm瓷质膜过滤程序纳米技术级硅粒子,通量保持稳定在80LMH。
MVR蒸发掉器
:浓缩咖啡高盐生活污水,凝结出Na₂SO₄副好产品,水中水回用率超90%。
最后功能
总硅从1500mg/L降下来5mg/L下面的
砷硫含量从0.8mg/L调至0.01mg/L
软件系统无水垢行驶高出2年
今年环保再生资源回收磷酸钠单晶体约800吨