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电子半导体废水怎么处理|电子半导体废水如何处理

该晶圆加工加工商地属西北省份,常见加工85英寸半导体材料晶圆,平均废气直接消费量下跌约800吨。主要是因为加工时中实用大量的盐酸使用晶圆蚀刻,造成的废气中氟化物氧化还原电位可高达200-300mg/L,远超发展中国家直接废气排放原则(10mg/L有以下)。 化工废水部分及來源 废气基本产于几个基本原则: 晶圆蚀刻制作工艺 :含高含量氟化物(HF)、硝酸钠及一点高价属 化工物理镜面抛光(CMP)废水处理方法 :含微米级硅颗粒剂、有机化学络合剂 机器设备洗涤废污水 :含异丙醇、氟化物等生物碳物 整理工艺设备工艺程序 主要采用"化学工业沉定+混疑沉定+的深度活性炭过滤"三级视频处置体系: 一个工作 :添加氯化钙和氢阳极氧化钙,建立氟化钙析出,氟化物弄掉率达85% 五级整理 :增加PAC(配位聚氯化铝)和PAM(PP酰胺),祛除氢氧化铁态污染源物 三级考试处置 :用多导电介质离心分离器和活性酶类炭离心分离,出水出水氟化物溶度比较稳定在8mg/L如下 核心机器设备以及:pH主动调准系统、斜管积淀池、板框板框压滤机(淤泥脱水器)。 最终能够疗效 品牌自动运行5年监测器统计数据提示 : 氟化物大概含量:7.2mg/L(不超过地方规格) COD清理率:92% 飞灰含水分率:≤65% 年根据氟化钙副物料约150吨,达到影视秸秆综合根据根据

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