该晶圆加工加工商地属西北省份,常见加工85英寸半导体材料晶圆,平均废气直接消费量下跌约800吨。主要是因为加工时中实用大量的盐酸使用晶圆蚀刻,造成的废气中氟化物氧化还原电位可高达200-300mg/L,远超发展中国家直接废气排放原则(10mg/L有以下)。
化工废水部分及來源
废气基本产于几个基本原则:
晶圆蚀刻制作工艺
:含高含量氟化物(HF)、硝酸钠及一点高价属
化工物理镜面抛光(CMP)废水处理方法
:含微米级硅颗粒剂、有机化学络合剂
机器设备洗涤废污水
:含异丙醇、氟化物等生物碳物
整理工艺设备工艺程序
主要采用"化学工业沉定+混疑沉定+的深度活性炭过滤"三级视频处置体系:
一个工作
:添加氯化钙和氢阳极氧化钙,建立氟化钙析出,氟化物弄掉率达85%
五级整理
:增加PAC(配位聚氯化铝)和PAM(PP酰胺),祛除氢氧化铁态污染源物
三级考试处置
:用多导电介质离心分离器和活性酶类炭离心分离,出水出水氟化物溶度比较稳定在8mg/L如下
核心机器设备以及:pH主动调准系统、斜管积淀池、板框板框压滤机(淤泥脱水器)。
最终能够疗效
品牌自动运行5年监测器统计数据提示 :
氟化物大概含量:7.2mg/L(不超过地方规格)
COD清理率:92%
飞灰含水分率:≤65%
年根据氟化钙副物料约150吨,达到影视秸秆综合根据根据